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高纯氧气的性质、制法、用途以及安全性

文章来源:本站 人气:41 次 发表时间:2022-06-20

氧气 - 性质

常温常压下为无色、无臭,无味气体。氧不可燃,但助燃。d0(气体)1. 429g/L;  d-183(液体)1.14g/rnL;熔点-218.4℃;沸点- 182. 96℃,临界温度一118. 95℃;临界压力50. 14atm;汽化热50. 9cal/g (-183℃)(lcal=4.2J)。在常压下冷至-182.9℃时即为天蓝色透明液体。


氧气 - 制法

以空气分离装置制得的氧为原料,经两级精馏后得99.5%以上的氧,再进入高纯氧塔,经过两次低温精馏后得99. 995%以上的高纯氧。


氧气 - 用途

高纯氧气体主要用于半导体器件的热氧化、扩散、化学气相沉积及等离子蚀刻等工艺,还可用于光导纤维、彩色显像管制造并作标准气、校正气和零点气等。作为氧化源与产生高纯水的反应剂。对于MOS场效应器件,氧化层必须相当致密,采用高纯氧气进行干法氧化,其氧化层结构致密,正电荷少,耐压高,能满足生产需要。与四氟化碳混合,可用于等离子刻蚀。


氧气 - 安全性

助燃压缩气体,无毒。但暴露在高浓氧中,对肺和中枢神经有不良影响。所有可燃物质、特别是油和油脂,不得与高浓度氧接触。对所有可能的着火源,都必


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